大家對於美國Omega氣體FMA係列流量計了解嗎?接下來為大家簡要概述一下: 一、產品概述(Omega FMA氣體係列) FMA是Omega主打氣體質量流量測量/控製的全係列產品線,覆蓋微流量到大流量、經濟型到流量計到控製器,核心是熱式質量流量原理,直接測質量流量,無需溫壓補償 。 1. 核心原理 - 主流:熱式(毛細管/旁路加熱):通過測量氣體帶走的熱量計算質量流量,直接質量流量、不受溫壓影響
- 層流差壓(LFE):FMA-1600A/PC16用層流元件+溫壓補償,測體積+質量+壓力+溫度四參數 2. 係列定位(按功能/精度) - 經濟型(入門):FMA1700A/1800A → 10 SCCM~1000 SLM,鋁/316SS,帶/不帶屏,模擬輸出
- 標準型(主流):FMA-A2000/2300/2400 → 0~100 SLM,高精度±1%,LCD,模擬+數字
- 多功能型:FMA4100/4300 → 可編程、累加器、報警、RS232/485、多氣體標定
- 多參數型:FMA1600A/PC16 → 同時測流量、壓力、溫度、體積,便攜款
- 控製型:FMA5400/5500、FMA2700/2800 → 帶比例閥,測量+控製一體
- 大流量:FMA3700/3800 → 替代停產700/800,最高1000 SLM 3. 核心參數(通用) - 量程:0.5 SCCM~1500 SLM(覆蓋微流量到大流量)
- 精度:±1% FS(主流);±2% FS(大流量>500 SLM)
- 重複性:±0.15%~±0.2% FS
- 響應時間:2~5秒(熱式);<10ms
- 量程比:50:1~200:1
- 輸出:0~5V/4~20mA(模擬);RS232/485(數字);繼電器(報警)
- 材質:鋁/黃銅(經濟型);316SS(耐腐蝕);FKM密封
- 認證:NIST溯源、CE、RoHS 二、功能用途(按場景) 1. 基礎監測(經濟型) - 實驗室/分析儀器:氣相色譜、質譜、環境監測、氣體配比
- OEM設備:包裝機、燃燒器、焊接、等離子、3D打印
- 潔淨氣體監控:氮氣、氬氣、氧氣、壓縮空氣、氫氣(防爆)
- 替代轉子流量計:無機械磨損、數字顯示、模擬輸出、更穩定 2. 精密測量(標準/多功能) - 過程控製:化工、製藥、食品、半導體、電子製造
- 氣體配比/混合:多氣體精確配比、焊接保護氣、燃燒控製
- 流量累加/計量:FMA4100/4300帶累加器,用於氣體消耗統計、計費
- 報警/聯鎖:上下限報警、斷氣/超流量保護、設備安全聯鎖 3. 多參數與便攜(FMA1600A/PC16) - 現場校準:FMA-PC16便攜套裝,用於流量計校準、氣體分析儀標定
- 多參數監測:同時讀質量流量、體積流量、壓力、溫度,無需額外傳感器
- 野外/移動測試:電池供電,無預熱,無需直管段,快速部署 4. 閉環控製(控製型) - 精確流量控製:FMA5400/5500帶比例閥,設定值→測量→調節閉環
- 半導體/光伏:CVD、蝕刻、沉積、離子注入、氣體精確供給
- 燃料電池/氫能:氫氣、空氣精確控製、燃料電池測試
- 實驗室反應釜:氣體進料控製、催化反應、合成實驗 5. 特殊氣體與工況 - 腐蝕性氣體:316SS+FKM,適配氯氣、氨氣、硫化氫、腐蝕性混合氣
- 微流量控製:10 SCCM以下,用於醫療、分析、精密噴塗、微量加注
- 防爆環境:ATEX/CSA防爆款,用於化工、油氣、煤礦、氫氣應用
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